等離子一般是利用激光、微波、電暈放電、熱電離、弧光放電等多種方式將氣體激發成等離子狀態。常壓等離子體的產生是通過在等離子噴槍內放電而實現的。將空氣導入噴槍，通過放電使氣體成為等離子體，再將產生的等離子體導向需要處理的制品的表面。噴槍結枸將帶電的電弧局限在噴嘴內，同時噴嘴也決定了所產生的等離子體的幾何形態。
 

 

 

 

氣體在高頻低壓下被激發，產生含有離子、激發態分子，自由基等多種活性粒子，通過化學或物理作用對工件表面進行處理，實現分子水平的污染物去除(一般厚度為3～30nm)，從而提高工件表面活性。對應不同的污染物，應采用不同的清洗工藝，根據選擇的工藝氣體不同，等離子清洗分為化學清洗、物理清洗及物理化學清洗。